1. Self-compensating mark arangement for stepper alignment

Agencement de marques d'autocompensation pour l'alignement d'un graveur a repetition

2. Next, the wafer is realigned in the stepper using the error-free fine alignment target.

Ensuite, la tranche est réalignée dans le graveur à répétition à l'aide de la cible d'alignement précis exempt d'erreur.

3. Mechanical DC and AC motors including servo motors, slotless motors, stepper motors, direct drive motors, hybrid motors

Moteurs mécaniques à courant continu et à courant alternatif y compris servo-moteurs, moteurs sans rainure, moteurs pas-à-pas, moteurs à transmission directe, moteurs hybrides

4. In another step, the wafer is aligned in the stepper using the error-free fine alignment target.

Une autre étape consiste à aligner la tranche dans le moteur pas à pas utilisant la cible d'alignement fin sans erreur.

5. The adjustor is connected to a stepper motor (28) which causes the adjustor to be moved axially from its first position to its second position.

Le dispositif de réglage est relié à un moteur pas à pas (28), provoquant un déplacement axial du dispositif de réglage de la première position dans la seconde position.